半導體製程愈來愈精細，愈易受到外來的電力設備、高壓管線＆無線通訊電磁波干擾，愈需要做好電磁波防護，以避免高倍數顯微鏡半導體製程受電磁波干擾導致影像扭曲而影響良率。